اکسیژن-فلوئورین اسید CAS: 82419-35-0

اسید اکسیژن-فلوئوریک عمدتاً در تهیه فلورایدها، ترکیبات اکسی‌فلوئورینه و سایر ترکیبات ارگانوفلوئورینه استفاده می‌شود. به عنوان یک عامل اکسیدکننده قوی، می‌توان از آن به عنوان یک عامل فلوئوراسیون در سنتز آلی برای ورود اتم‌های فلوئور به مولکول‌های آلی استفاده کرد. علاوه بر این، از آن به عنوان یک عامل خوردگی برای تمیز کردن و حکاکی ویفرهای سیلیکونی استفاده می‌شود که کاربردهای مهمی در صنعت نیمه‌هادی دارد. در آزمایشگاه، اسید اکسی‌فلوئوریک همچنین می‌تواند برای تمیز کردن ظروف شیشه‌ای و حذف اکسیدهای سطحی استفاده شود. با این حال، به دلیل خوردگی و سمیت بالای آن، لازم است هنگام استفاده، رویه‌های ایمنی به شدت رعایت شود و اقدامات حفاظتی لازم برای اطمینان از ایمنی پرسنل انجام شود.